Lohau, J.; Friedrichowski, S.; Dumpich, Günter:
Electron-Beam Lithography using a STEM CM12 (Philips)
In: The Journal of Vacuum Science and Technology B, Band 16 (1998), S. 1150
1998Artikel/Aufsatz in ZeitschriftPhysik
Titel:
Electron-Beam Lithography using a STEM CM12 (Philips)
Autor(in):
Lohau, J.; Friedrichowski, S.; Dumpich, GünterLSF
Erscheinungsjahr
1998