Behnke, Ulf; Mertin, Wolfgang; Kubalek, Erich:
Cross-talk in electric force microscopy testing of parallel sub-micrometer conducting lines
In: Microelectronics Reliability, Jg. Vol. 40 (2000), Heft 8-10, S. 1401 - 1406
2000Artikel/Aufsatz in ZeitschriftElektrotechnikPhysikMaterialtechnik
Titel:
Cross-talk in electric force microscopy testing of parallel sub-micrometer conducting lines
Autor(in):
Behnke, UlfLSF; Mertin, WolfgangLSF; Kubalek, ErichLSF
Erscheinungsjahr
2000