Voltage-influence of biased interconnection line on integrated circuit-internal current contrast measurements via magnetic force microscopy
In: Microelectronics Reliability, Jg. Vol. 40 (2000), Heft 8-10, S. 1389 - 1394
2000Artikel/Aufsatz in Zeitschrift
ElektrotechnikPhysik (inkl. Astronomie)Materialtechnik
Damit verbunden: 1 Publikation(en)
Titel:
Voltage-influence of biased interconnection line on integrated circuit-internal current contrast measurements via magnetic force microscopy
Autor*in:
Weber, Rainer;Mertin, WolfgangUDE
- LSF ID
- 1452
- ORCID
- 0000-0001-6792-6033
- Sonstiges
- der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
- LSF ID
- 1175
- Sonstiges
- der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
Erscheinungsjahr:
2000