Wiggers, Hartmut; Starke, Ralf; Roth, Paul:
Silicon Particle Formation by pyrolysis of Silane in a Hot Wall Gasphase Reactor
In: Chemical Engineering & Technology, Jg. 24 (2001), Heft 3, S. 261 - 264
2001Artikel/Aufsatz in ZeitschriftMaschinenbau
Titel:
Silicon Particle Formation by pyrolysis of Silane in a Hot Wall Gasphase Reactor
Autor(in):
Wiggers, HartmutLSF; Starke, RalfLSF; Roth, PaulLSF
Erscheinungsjahr
2001