Finder, C.; Beck, M.; Seekamp, J.; Pfeiffer, K.; Carlberg, P.; Maximov, I.; Reuther, F.; Sarve, E.l.; Zankovich, S.; Ahopelto, J.; Montelius, L.; Mayer, Christian; Sotomayor Torres, C.m.:
Fluorescence microscopy for quality control in nanoimprint lithography
In: Microelectronic Engineering, Band 67-68 (2003), S. 623 - 628
2003Artikel/Aufsatz in Zeitschrift
Chemie
Damit verbunden: 1 Publikation(en)
Titel in Englisch:
Fluorescence microscopy for quality control in nanoimprint lithography
Autor*in:
Finder, C.;Beck, M.;Seekamp, J.;Pfeiffer, K.;Carlberg, P.;Maximov, I.;Reuther, F.;Sarve, E.l.;Zankovich, S.;Ahopelto, J.;Montelius, L.;Mayer, ChristianUDE
GND
100307078
LSF ID
501
ORCID
0000-0003-1681-0553ORCID iD
Sonstiges
der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
;
Sotomayor Torres, C.m.
Erscheinungsjahr:
2003
Sprache des Textes:
Englisch