Experimental investigation and computational modeling of hot filament diamond chemical vapor deposition
In: The Journal of Chemical Physics (JCP), Jg. 107 (1997), Heft 15, S. 5918 - 5928
1997Artikel/Aufsatz in Zeitschrift
MaschinenbauFakultät für Ingenieurwissenschaften
Damit verbunden: 1 Publikation(en)
Titel in Englisch:
Experimental investigation and computational modeling of hot filament diamond chemical vapor deposition
Autor*in:
Zumbach, Volker;Schäfer, Jörg;Tobai, Jens;Ridder, Michael;Dreier, ThomasUDE
- LSF ID
- 47223
- ORCID
-
0000-0001-8313-4992
- Sonstiges
- der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
Erscheinungsjahr:
1997
DOI
Sprache des Textes:
Englisch
Erschienen in
Titel in Englisch (abgekürzt):
J. Chem. Phys.
Erscheinungsort:
Melville
Verlag:
American Institute of Physics (AIP)
in:
Jg. 107 (1997), Heft 15, S. 5918 - 5928
ISSN
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ZDB ID