Fabrication of High Density Dot Lattices with Electron Beam Lithography.
In: Phase Transitions, Jg. 78 (2005), Heft 1-3, S. 105
Titel:
Fabrication of High Density Dot Lattices with Electron Beam Lithography.
Autor*in:
Stahlmecke, Burkhard;Dumpich, GünterUDE
- LSF ID
- 1107
- Sonstiges
- der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
Erscheinungsjahr:
2005