Behnke, Ulf; Wand, B.; Mertin, Wolfgang; Kubalek, Erich:
Voltage contrast measurements on sub-micrometer structures with an electric force microscope based test system
In: Microelectronics Reliability, Jg. Vol. 39 (1999), Heft 6-7, S. 969 - 974
1999Artikel/Aufsatz in Zeitschrift
ElektrotechnikPhysik (inkl. Astronomie)Materialtechnik
Damit verbunden: 1 Publikation(en)
Titel:
Voltage contrast measurements on sub-micrometer structures with an electric force microscope based test system
Autor*in:
Behnke, UlfUDE
LSF ID
1456
Sonstiges
der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
;
Wand, B.;Mertin, WolfgangUDE
LSF ID
1452
ORCID
0000-0001-6792-6033ORCID iD
Sonstiges
der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
;
Kubalek, ErichUDE
LSF ID
1175
Sonstiges
der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
Erscheinungsjahr:
1999