Voltage contrast measurements on sub-micrometer structures with an electric force microscope based test system
In: Microelectronics Reliability, Jg. Vol. 39 (1999), Heft 6-7, S. 969 - 974
1999Artikel/Aufsatz in Zeitschrift
ElektrotechnikPhysik (inkl. Astronomie)Materialtechnik
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Titel:
Voltage contrast measurements on sub-micrometer structures with an electric force microscope based test system
Autor*in:
Behnke, UlfUDE
- LSF ID
- 1456
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- LSF ID
- 1452
- ORCID
- 0000-0001-6792-6033
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- LSF ID
- 1175
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Erscheinungsjahr:
1999