Behnke, Ulf; Mertin, Wolfgang; Kubalek, Erich:
Cross-talk in electric force microscopy testing of parallel sub-micrometer conducting lines
In: Microelectronics Reliability, Jg. Vol. 40 (2000), Heft 8-10, S. 1401 - 1406
2000Artikel/Aufsatz in Zeitschrift
ElektrotechnikPhysik (inkl. Astronomie)Materialtechnik
Damit verbunden: 1 Publikation(en)
Titel:
Cross-talk in electric force microscopy testing of parallel sub-micrometer conducting lines
Autor*in:
Behnke, UlfUDE
LSF ID
1456
Sonstiges
der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
;
Mertin, WolfgangUDE
LSF ID
1452
ORCID
0000-0001-6792-6033ORCID iD
Sonstiges
der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
;
Kubalek, ErichUDE
LSF ID
1175
Sonstiges
der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
Erscheinungsjahr:
2000