Meijer, Jan; Pezzagna, Sébastien; Vogel, Thomas; Burchard, Bernard; Bukow, Hans-Heinrich; Rangelow, Ivo W.; Sarov, Yanko; Wiggers, Hartmut; Plümel, Ingo; Jelezko, Fedor; Wrachtrup, Jörg; Schmidt-Kaler, Ferdinand; Schnitzler, Wolfgang; Singer, Kilian:
Towards the the implanting of ions and nanoparticles with nm spatial resolution
In: Applied Physics A : Materials Science and Processing, Jg. 91 (2008), Heft 4, S. 567 - 571
2008Artikel/Aufsatz in Zeitschrift
Maschinenbau
Damit verbunden: 1 Publikation(en)
Titel:
Towards the the implanting of ions and nanoparticles with nm spatial resolution
Autor*in:
Meijer, Jan;Pezzagna, Sébastien;Vogel, Thomas;Burchard, Bernard;Bukow, Hans-Heinrich;Rangelow, Ivo W.;Sarov, Yanko;Wiggers, HartmutUDE
GND
172637171
LSF ID
1643
ORCID
0000-0001-8487-9937ORCID iD
Sonstiges
der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
;
Plümel, IngoUDE
LSF ID
10016
Sonstiges
der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
;
Jelezko, Fedor;Wrachtrup, Jörg;Schmidt-Kaler, Ferdinand;Schnitzler, Wolfgang;Singer, Kilian
Erscheinungsjahr:
2008