Preparation and properties of thin amorphous tantalum films formed by small e-beam evaporators
In: Journal of Physics D : Applied Physics (2009), Heft 42, S. 135417
Titel in Englisch:
Preparation and properties of thin amorphous tantalum films formed by small e-beam evaporators
Autor*in:
Stella, KevinUDE
- LSF ID
- 49841
- Sonstiges
- der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
- LSF ID
- 52512
- Sonstiges
- der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
- LSF ID
- 11103
- Sonstiges
- der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
- LSF ID
- 11102
- ORCID
- 0000-0002-5587-2557
- Sonstiges
- der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
- LSF ID
- 13424
- Sonstiges
- der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
Erscheinungsjahr:
2009
Sprache des Textes:
Englisch