Stella, Kevin; Bürstel, Damian; Franzka, Steffen; Diesing, Detlef; Posth, Oliver:
Preparation and properties of thin amorphous tantalum films formed by small e-beam evaporators
In: Journal of Physics D : Applied Physics (2009), Heft 42, S. 135417
2009Artikel/Aufsatz in Zeitschrift
Chemie
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Titel in Englisch:
Preparation and properties of thin amorphous tantalum films formed by small e-beam evaporators
Autor*in:
Stella, KevinUDE
LSF ID
49841
Sonstiges
der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
;Bürstel, DamianUDE
LSF ID
52512
Sonstiges
der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
;Franzka, SteffenUDE
LSF ID
11103
Sonstiges
der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
;Diesing, DetlefUDE
LSF ID
11102
ORCID
0000-0002-5587-2557ORCID iD
Sonstiges
der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
;Posth, OliverUDE
LSF ID
13424
Sonstiges
der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
Erscheinungsjahr:
2009
Sprache des Textes:
Englisch
Erschienen in
Journal of Physics D : Applied Physics
Titel in Englisch (abgekürzt):
J Phys D
Erscheinungsort:
Bristol
Verlag:
IOP Publishing
in:
Heft 42, S. 135417
ISSN
0022-3727 Verfügbarkeit online & gedruckt anzeigen
ISSN
1361-6463 Verfügbarkeit online & gedruckt anzeigen
ISSN
0262-8171 Verfügbarkeit online & gedruckt anzeigen
ZDB ID
1472948-9