He, Yang Yang:
Deposition of diamond-like carbon films by liquid electrochemical technique
Duisburg, Essen, 2011
2011Dissertation
Physik (inkl. Astronomie)Fakultät für Physik
Titel in Englisch:
Deposition of diamond-like carbon films by liquid electrochemical technique
Autor*in:
He, Yang YangUDE
LSF ID
51598
Sonstiges
der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
Akademische Betreuung:
Buck, VolkerUDE
GND
173074383
LSF ID
10489
Sonstiges
der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
Erscheinungsort:
Duisburg, Essen
Erscheinungsjahr:
2011
Umfang:
IV, 140 S.
DuEPublico 1 ID
Signatur der UB:
Notiz:
Duisburg, Essen, Univ., Diss., 2011
Sprache des Textes:
Englisch

Abstract in Deutsch:

Diamantähnliche Kohlenstoffschichten (DLC) sind amorphe Kohlenstoffschichten, die abhängig von der Abscheidetechnik und den Abscheidebedingungen, sowohl mit als auch ohne Wasserstoff hergestellt werden können. Neben der konventionellen Gasphasenabscheidung können DLC Schichten auch mittels elektrochemischer Abscheidung aus der flüssigen Phase hergestellt werden. Unter der angelegten Spannung reagieren die organischen Moleküle und werden zu DLC-Schichten auf dem Substrat. Die elektrochemische Abscheidung von DLC Schichten gewinnt aufgrund der Einfachheit des experimentellen Aufbaus, der Skalierbarkeit des Prozesses, der niedrigen Prozesstemperatur und der Möglichkeit auch geometrisch komplexe Strukturen zu beschichten zunehmend an Interesse. Obwohl bereits einige Arbeiten zu diesem Thema veröffentlicht wurden, fehlen noch entscheidende Aspekte. Das Ziel dieser Dissertation ist es daher, den Einfluss des experimentellen Aufbaus und der Abscheidebedingungen zu untersuchen und das technologische Potential des Verfahrens einzuschätzen.