Entwicklung eines MEMS-Drucksensor-Prozessmoduls für die Post-CMOS-Integration
Duisburg, Essen, 2012
2012Dissertation
ElektrotechnikFakultät für Ingenieurwissenschaften » Elektrotechnik und Informationstechnik » Elektronische Bauelemente und Schaltungen
Titel in Deutsch:
Entwicklung eines MEMS-Drucksensor-Prozessmoduls für die Post-CMOS-Integration
Autor*in:
Wang, Qiang
Akademische Betreuung:
Vogt, HolgerUDE
- GND
- 1150723521
- LSF ID
- 1998
- ORCID
-
0000-0001-8006-8598
- Sonstiges
- der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
Erscheinungsort:
Duisburg, Essen
Erscheinungsjahr:
2012
DuEPublico 1 ID
Signatur der UB:
Notiz:
Duisburg, Essen, Univ., Diss., 2012
Sprache des Textes:
Deutsch