Simultaneous IC-internal voltage and current measurements via a multi lever Scanning Force Microscope
In: Microelectronics Reliability, Jg. Vol. 42 (2002), Heft 9-11, S. 1759 - 1762
2002Artikel/Aufsatz in Zeitschrift
ElektrotechnikPhysik (inkl. Astronomie)Materialtechnik
Damit verbunden: 1 Publikation(en)
Titel:
Simultaneous IC-internal voltage and current measurements via a multi lever Scanning Force Microscope
Autor*in:
Hartmann, Claus;Weber, Rainer;Mertin, WolfgangUDE
- LSF ID
- 1452
- ORCID
- 0000-0001-6792-6033
- Sonstiges
- der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
- LSF ID
- 1175
- Sonstiges
- der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
Erscheinungsjahr:
2002