Cross-talk in electric force microscopy testing of parallel sub-micrometer conducting lines
In: Microelectronics Reliability, Jg. Vol. 40 (2000), Heft 8-10, S. 1401 - 1406
2000Artikel/Aufsatz in Zeitschrift
ElektrotechnikPhysik (inkl. Astronomie)Materialtechnik
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Titel:
Cross-talk in electric force microscopy testing of parallel sub-micrometer conducting lines
Autor*in:
Behnke, UlfUDE
- LSF ID
- 1456
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- LSF ID
- 1452
- ORCID
- 0000-0001-6792-6033
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- LSF ID
- 1175
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Erscheinungsjahr:
2000