Fluorescence microscopy for quality control in nanoimprint lithography
In: Microelectronic Engineering, Band 67-68 (2003), S. 623 - 628
Titel in Englisch:
Fluorescence microscopy for quality control in nanoimprint lithography
Autor*in:
Finder, C.;Beck, M.;Seekamp, J.;Pfeiffer, K.;Carlberg, P.;Maximov, I.;Reuther, F.;Sarve, E.l.;Zankovich, S.;Ahopelto, J.;Montelius, L.;Mayer, ChristianUDE
- GND
- 100307078
- LSF ID
- 501
- ORCID
- 0000-0003-1681-0553
- Sonstiges
- der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
Erscheinungsjahr:
2003
Sprache des Textes:
Englisch