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Journal of Vacuum Science and Technology (JVST) B : Nanotechnology and Microelectronics
UB
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Eintrag Nr. 206087
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Journal of Vacuum Science and Technology (JVST) B : Nanotechnology and Microelectronics
Zeitschrift
Elektrotechnik
Damit verbunden:
6 Publikation(en)
Titel in Englisch:
Journal of Vacuum Science and Technology (JVST) B : Nanotechnology and Microelectronics
Erscheinungsort:
New York
Verlag:
American Vacuum Society (AVS)
ISSN
2166-2754
ISSN
2166-2746
ISSN
1071-1023
ZDB ID
3117331-7
Signatur der UB:
67 Z 23
