Walk, Christian; Goehlich, Andreas; Giese, Andre; Görtz, Michael; Vogt, Holger; Kraft, Michael:
Investigation of diaphragm deflection of an absolute MEMS capacitive polysilicon pressure sensor
In: Smart Sensors, Actuators, and MEMS VII; and Cyber Physical Systems : Barcelona, Spain ; 4 - 6 May 2015, Barcelona, Spain ; [part of SPIE microtechnologies] / Sánchez-Rojas, José Luis; Brama, Riccardo (Hrsg.). - Conference on Smart Sensors, Actuators, and MEMS; and Cyber Physical Systems ; 4 - 6 May 2015, Barcelona, Spain - Bellingham: SPIE, 2015 - (Proceedings of SPIE ; 9517), Artikel 95170T
2015Buchaufsatz/Kapitel in Tagungsband
MaterialtechnikElektrotechnikFakultät für Ingenieurwissenschaften » Elektrotechnik und Informationstechnik » Elektronische Bauelemente und Schaltungen
Titel in Englisch:
Investigation of diaphragm deflection of an absolute MEMS capacitive polysilicon pressure sensor
Autor*in:
Walk, Christian
;Goehlich, Andreas
;Giese, Andre
;Görtz, Michael
;Vogt, HolgerUDE
GND
1150723521
LSF ID
1998
ORCID
0000-0001-8006-8598ORCID iD
Sonstiges
der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
;Kraft, MichaelUDE
LSF ID
54706
Sonstiges
der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
DOI
10.1117/12.2176188
Scopus ID
84954144581
Sprache des Textes:
Englisch
Erschienen in
Smart Sensors, Actuators, and MEMS VII; and Cyber Physical Systems : Barcelona, Spain ; 4 - 6 May 2015, Barcelona, Spain ; [part of SPIE microtechnologies]
Konferenz
Conference on Smart Sensors, Actuators, and MEMS; and Cyber Physical Systems ; 4 - 6 May 2015, Barcelona, Spain
Herausgeber*in:
Sánchez-Rojas, José Luis;Brama, Riccardo
Erscheinungsort:
Bellingham
Verlag:
SPIE
Erscheinungsjahr:
2015
in:
Artikel 95170T
ISBN
978-1-62841-639-8
In Serie
Proceedings of SPIE
in:
Band 9517