Utz, Alexander; Walk, Christian; Stanitzki, Alexander; Mokhtari, Mir; Kraft, Michael; Kokozinski, Rainer:
A high precision MEMS based capacitive accelerometer for seismic measurements
In: IEEE Sensors 2017 : October 29-November 1, 2017, Glasgow, Scotland, UK, Scottish Event Campus (SEC) ; 2017 conference proceedings - IEEE SENSORS Conference ; October 29-November 1, 2017, Glasgow, Scotland, UK - Piscataway: IEEE, 2017
2017Buchaufsatz/Kapitel in Tagungsband
ElektrotechnikFakultät für Ingenieurwissenschaften » Elektrotechnik und Informationstechnik » Elektronische Bauelemente und Schaltungen
Titel in Englisch:
A high precision MEMS based capacitive accelerometer for seismic measurements
Autor*in:
Utz, Alexander
;Walk, Christian
;Stanitzki, Alexander
;Mokhtari, Mir
;Kraft, MichaelUDE
LSF ID
54706
Sonstiges
der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
;Kokozinski, RainerUDE
GND
173084451
LSF ID
50200
ORCID
0000-0003-3416-3310ORCID iD
Sonstiges
der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
DOI
10.1109/ICSENS.2017.8233981
IEEE ID
8233981
Scopus ID
85044282930
Sprache des Textes:
Englisch
Erschienen in
IEEE Sensors 2017 : October 29-November 1, 2017, Glasgow, Scotland, UK, Scottish Event Campus (SEC) ; 2017 conference proceedings
Konferenz
IEEE SENSORS Conference ; October 29-November 1, 2017, Glasgow, Scotland, UK
Erscheinungsort:
Piscataway
Verlag:
IEEE
Erscheinungsjahr:
2017
ISBN
978-1-5386-4056-2
ISBN
978-1-5090-1012-7
ISBN
978-1-5090-1013-4
Schlagwort, Thema:
accelerometer ; capacitive sensing ; low noise ; MEMS