Zhao, Chun; Montaseri, Mohammad Hassan; Wood, Graham S.; Pu, Suan Hui; Seshia, Ashwin A.; Kraft, Michael:
A review on coupled MEMS resonators for sensing applications utilizing mode localization
In: Sensors and Actuators A : Physical, Band 249 (2016), S. 93 - 111
2016Artikel/Aufsatz in Zeitschrift
ElektrotechnikFakultät für Ingenieurwissenschaften » Elektrotechnik und Informationstechnik » Elektronische Bauelemente und Schaltungen
Damit verbunden: 1 Publikation(en)
Titel in Englisch:
A review on coupled MEMS resonators for sensing applications utilizing mode localization
Autor*in:
Zhao, Chun
;Montaseri, Mohammad HassanUDE
LSF ID
55868
Sonstiges
der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
;Wood, Graham S.
;Pu, Suan Hui
;Seshia, Ashwin A.
;Kraft, MichaelUDE
LSF ID
54706
Sonstiges
der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
Erscheinungsjahr:
2016
DOI
10.1016/j.sna.2016.07.015
Scopus ID
84984645061
Sprache des Textes:
Englisch
Erschienen in
Sensors and Actuators A : Physical
Erscheinungsort:
Amsterdam
Verlag:
Elsevier
in:
Band 249 (2016), S. 93 - 111
ISSN
0924-4247 Verfügbarkeit online & gedruckt anzeigen
ISSN
1873-3069 Verfügbarkeit online & gedruckt anzeigen
ZDB ID
1500729-7
Schlagwort, Thema:
Common mode rejection ; Coupled resonator ; High sensitivity ; MEMS resonant sensors ; Vibration mode localization