Utz, Alexander; Walk, Christian; Stanitzki, Alexander; Mokhtari, Mir; Kraft, Michael; Kokozinski, Rainer:
A High-Precision and High-Bandwidth MEMS-based Capacitive Accelerometer
In: IEEE Sensors Journal (J-SEN), Jg. 18 (2018), Heft 16, S. 6533 - 6539
2018Artikel/Aufsatz in ZeitschriftOA Grün
ElektrotechnikFakultät für Ingenieurwissenschaften » Elektrotechnik und Informationstechnik » Elektronische Bauelemente und Schaltungen
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Titel in Englisch:
A High-Precision and High-Bandwidth MEMS-based Capacitive Accelerometer
Autor*in:
Utz, Alexander
;Walk, Christian
;Stanitzki, Alexander
;Mokhtari, Mir
;Kraft, MichaelUDE
LSF ID
54706
Sonstiges
der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
;Kokozinski, RainerUDE
GND
173084451
LSF ID
50200
ORCID
0000-0003-3416-3310ORCID iD
Sonstiges
der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
Erscheinungsjahr:
2018
Open Access?:
OA Grün
DOI
10.1109/JSEN.2018.2849873
IEEE ID
8392718
Scopus ID
85049092602
WWW URL:
http://publica.fraunhofer.de/bitstreams/e5d9077c-488f-4a9a-80b0-d2435615df9f/download
Sprache des Textes:
Englisch
Erschienen in
IEEE Sensors Journal (J-SEN)
Titel in Englisch (abgekürzt):
IEEE Sensors J.
Erscheinungsort:
Piscataway
Verlag:
Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)
in:
Jg. 18 (2018), Heft 16, S. 6533 - 6539
ISSN
1558-1748 Verfügbarkeit online & gedruckt anzeigen
ISSN
1530-437X Verfügbarkeit online & gedruckt anzeigen
ZDB ID
2052059-1
Schlagwort, Thema:
1f noise ; accelerometer ; Accelerometers ; capacitive sensing ; Capacitive sensors ; Gain ; low-noise ; MEMS ; Micromechanical devices ; Sensor systems