Stable tungsten disilicide contacts for surface and thin film resistivity measurements
In: Journal of Vacuum Science and Technology (JVST) B : Nanotechnology and Microelectronics, Jg. 27 (2009), Heft 1, S. 180
2009Artikel/Aufsatz in Zeitschrift
Physik (inkl. Astronomie)Fakultät für Physik » ExperimentalphysikForschungszentren » Center for Nanointegration Duisburg-Essen (CENIDE)
Damit verbunden: 1 Publikation(en)
Titel in Englisch:
Stable tungsten disilicide contacts for surface and thin film resistivity measurements
Autor*in:
Jnawali, GirirajUDE
- LSF ID
- 10417
- ORCID
- 0000-0003-0954-8614
- Sonstiges
- der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
- LSF ID
- 48700
- ORCID
- 0000-0002-5878-2012
- Sonstiges
- der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
- LSF ID
- 48960
- Sonstiges
- der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
- LSF ID
- 51046
- Sonstiges
- der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
- GND
- 1201039908
- LSF ID
- 10366
- ORCID
- 0000-0003-0324-3457
- Sonstiges
- der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
Erscheinungsjahr:
2009
Sprache des Textes:
Englisch